半導(dǎo)體領(lǐng)域潔凈車間測(cè)試解決方案

       潔凈室（Cleanroom）：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)盡可能的減少室內(nèi)滯留顆粒物。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力、靜電、振動(dòng)、噪聲等按要求進(jìn)行控制。——摘自GB50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》實(shí)施日期2013年9月1日。

       為什么需要潔凈室：由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機(jī)物等)，因?yàn)檫@些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。

       通常通過服裝，MAU，F(xiàn)FU及入口的風(fēng)淋室等控制手段，可有效控制顆粒物的產(chǎn)生

1、AMC控制

       通常AMC系統(tǒng)包括，AMC過濾系統(tǒng)及AMC氣體品質(zhì)監(jiān)控系統(tǒng)兩部分組成，分別起到過濾和確認(rèn)效果的作用

2、照度測(cè)試

       實(shí)時(shí)空氣品質(zhì)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體業(yè)界而言，并不陌生。現(xiàn)行模式大都以定點(diǎn)式監(jiān)測(cè)器為主流，分布的范圍以正壓供氣端如氣瓶柜、氣體分流配置箱，以及特殊毒性氣體機(jī)臺(tái)通風(fēng)櫥柜等。

       除此之外，廠內(nèi)空氣流向同樣是監(jiān)測(cè)器布點(diǎn)與泄漏搜尋時(shí)，相當(dāng)重要的參考依據(jù)。比方說，外氣入口在空調(diào)層的潔凈室，其空氣流向通常如下圖所示，subfab區(qū)域受潔凈室作業(yè)影響最大，空調(diào)層受外氣影響較大。因此，在進(jìn)氣口位置與subfab區(qū)域架設(shè)氣體監(jiān)測(cè)器，可有效厘清潔凈室內(nèi)空氣污染與外氣之間的關(guān)連性。再者，對(duì)于Fab與subfab間有回風(fēng)區(qū)夾層的工廠，直接在制程區(qū)下方架設(shè)之氣體監(jiān)測(cè)器，可立即反應(yīng)制程區(qū)作業(yè)所造成的污染。而對(duì)于無回風(fēng)區(qū)夾層的潔凈室，架設(shè)在Subfab區(qū)兩側(cè)之氣體監(jiān)測(cè)器，可分區(qū)監(jiān)測(cè)不同回風(fēng)流場(chǎng)所代表的空氣品質(zhì)狀況。因此，依據(jù)工廠的空調(diào)流場(chǎng)設(shè)計(jì)、監(jiān)測(cè)目標(biāo)，選擇適用之監(jiān)測(cè)位置與氣體監(jiān)測(cè)工具。

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