百級晶圓無塵車間高架地板施工要求
2024-09-06
標簽：
無塵車間
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晶圓無塵車間建設(shè)
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百級晶圓無塵車間
在半導體制造業(yè)中，百級晶圓無塵車間的建設(shè)是確保產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率與降低故障率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，高架地板作為無塵車間的核心基礎(chǔ)設(shè)施之一，其施工要求極為嚴格，直...
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工信部備案號：