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半導體潔凈廠房設計有哪些特點與技術指標

2023-07-14
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  半導體潔凈廠房是半導體制造過程中必不可少的環節,其潔凈度和穩定性直接影響產品質量。那么半導體潔凈廠房有哪些特點和技術指標呢?合潔科技電子凈化工程帶您去了解下吧!

  一、特點

  1、高潔凈度:半導體潔凈廠房潔凈度要求高,一般達到萬級以上,甚至更高。

  2、穩定性:半導體制造過程對環境穩定性要求極高,如溫度、濕度、壓力、流速等都要保持穩定。

  3、全自動化:半導體潔凈廠房需要實現全自動化生產,減少人為因素干擾,提高生產效率和質量。

  4、特殊材料:半導體潔凈廠房使用特殊材料,如不銹鋼、鋁合金等,以確保潔凈度和穩定性。

  5、嚴格管理:半導體潔凈廠房需要嚴格管理,如入廠前的消毒、穿戴特殊工作服、使用工具等都需要符合標準。


半導體潔凈廠房


  二、技術指標

  1、潔凈度:半導體潔凈廠房的潔凈度一般采用ISO標準,如ISO-14644-1等,潔凈度級別越高,要求越嚴格。

  2、空氣流量:半導體潔凈廠房的空氣流量一般要求大,以保證空氣的流動性和潔凈度。

  3、溫度和濕度:半導體潔凈廠房的溫度和濕度要求非常高,如溫度在20-24℃,相對濕度在45%-60%之間。

  4、壓力差:半導體潔凈廠房的壓力差一般為正壓,以防止外部空氣、粉塵等進入廠房,影響產品質量。

  5、車間內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)。噪聲檢測儀器:噪聲儀/聲級計

  結尾:以上就是半導體潔凈廠房的特點和技術指標,只有保持高潔凈度和穩定性,才能生產出高質量的半導體產品。

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