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合景集團發布

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半導體微電子潔凈廠房裝修分區設計與基本要求

2024-01-18
共有2401家企業看過

  半導體微電子潔凈廠房的裝修分區設計和基本要求是確保潔凈度要求的滿足和生產流程的順利進行。以下是合潔科技潔凈工程的一些建議的裝修分區設計和基本要求:

  1、生產區域:將半導體微電子潔凈廠房劃分為不同的生產區域,根據工藝流程和潔凈度要求的不同進行區分。例如,可以劃分為晶圓加工區、封裝區、測試區等。每個區域應具備相應的潔凈度級別和控制措施。

  2、工作區域:在每個生產區域內,劃分不同的工作區域,用于不同的工作任務和設備操作。例如,可以劃分為工作臺區、設備區、材料存放區等。每個工作區域應根據操作需求配置相應的設備和工具。

  3、通道和過渡區域:設置通道和過渡區域,用于人員和物料的進出和過渡。通道應保持清潔,并設有適當的潔凈度控制措施,如潔凈通道、潔凈門等,以防止外部污染物進入潔凈區域。


半導體微電子潔凈廠房


  4、潔凈度級別劃分:根據半導體微電子生產的要求,確定不同區域和工作區域的潔凈度級別。通常使用ISO 14644潔凈度標準來劃分潔凈度級別,如ISO 5、ISO 6、ISO 7等。確保每個區域的潔凈度級別符合相應的要求。

  5、墻面、地面和天花板:選擇符合潔凈要求的材料,如潔凈室墻面、地板和天花板。這些材料應具有低揮發性和低顆粒釋放率,易于清潔和維護。墻面、地面和天花板之間的連接應密封良好,以防止顆粒和污染物的積聚。

  6、空氣過濾系統:安裝高效的空氣過濾器,如HEPA或ULPA過濾器,以過濾空氣中的微小顆粒和污染物。根據潔凈度要求選擇合適的過濾器級別,并確保過濾器的性能和定期更換。

  7、空氣流動控制:通過正壓控制和空氣流動控制,保持半導體微電子潔凈廠房內的空氣流動和壓力控制良好。確保送風、回風和排風系統的設計和運行正常,以保持適當的空氣流動和壓力差。

  8、靜電控制:采取靜電控制措施,如導電地板、靜電消除裝置和防靜電工作臺等,以減少靜電帶來的顆粒吸附和干擾。保證設備和工作區域的靜電控制良好。

  9、照明和電源:選擇適當的照明設備,以提供充足的照明強度,并符合潔凈要求。確保電源系統的可靠性和穩定性,以支持設備和工作區域的正常運行。

  10、清潔和維護程序:制定和執行適當的清潔和維護程序,包括定期的清潔、消毒和維護工作。確保設備和工作區域的清潔,并及時處理發現的問題和異常。

  以上是一些基本的裝修分區設計和要求,具體的設計和要求應根據實際情況、潔凈度要求和工藝流程進行細化和調整。建議在裝修過程中咨詢專業的工程師和技術人員,以確保裝修方案的合理性和有效性。

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