百級(jí)半導(dǎo)體凈化車間的安裝與調(diào)試是一個(gè)復(fù)雜且精細(xì)的過程，涉及多個(gè)系統(tǒng)和環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子凈化工程公司根據(jù)當(dāng)前信息整理的安裝與調(diào)試方法：

　　安裝方法

　　1、前期準(zhǔn)備

　　勘察與規(guī)劃：工作人員需上門勘察，測(cè)量數(shù)據(jù)，與建設(shè)單位交流，了解生產(chǎn)工藝，遵照GMP等相關(guān)要求進(jìn)行詳細(xì)的施工程序規(guī)劃。

　　材料準(zhǔn)備：準(zhǔn)備施工材料，如保溫圍板、鋁合金材料(U型槽鋁、吊頂T型鋁等)、FFU、高效過濾器、潔凈工作臺(tái)、潔凈風(fēng)柜、燈具、五金交電等。

　　2、基礎(chǔ)施工

　　墻面與吊頂：進(jìn)行墻面和吊頂?shù)氖┕ぃ_保密封性和平整度，使用符合無塵車間要求的材料。

　　門窗安裝：安裝潔凈門和傳遞窗，確保門框和門扇的密封性，符合防靜電要求。

　　3、系統(tǒng)安裝

　　FFU及高效過濾器安裝：

　　小心取出高效過濾器，檢查是否有損壞。

　　將FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上，注意輕拿輕放，避免觸碰過濾器表面。

　　對(duì)齊龍骨四邊平行放下過濾器，注意風(fēng)向，出風(fēng)面應(yīng)朝下。

　　將FFU箱體對(duì)齊過濾器四周放下，根據(jù)廠家提供的電路圖和電氣規(guī)章連接電源。

　　風(fēng)管系統(tǒng)安裝：進(jìn)行風(fēng)管保溫和安裝，確保密封性和風(fēng)量分配。

　　其他系統(tǒng)安裝：包括高純水系統(tǒng)、高純氣體系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)、排風(fēng)和排氣系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)等。

　　4、地面處理

　　選擇合適的地坪漆進(jìn)行地面涂裝，確保防塵、耐磨、易清潔。

　　調(diào)試方法

　　1、空氣凈化系統(tǒng)調(diào)試

　　檢查空氣凈化設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，確保無異常噪音和振動(dòng)。

　　使用塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)車間內(nèi)不同區(qū)域的塵埃粒子濃度，確保達(dá)到預(yù)定的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)(百級(jí))。

　　調(diào)節(jié)風(fēng)量、風(fēng)速和風(fēng)向，確保空氣流通均勻，無死角。

　　2、溫濕度控制調(diào)試

　　確保溫濕度控制設(shè)備正常運(yùn)行，根據(jù)生產(chǎn)需求設(shè)定合適的溫濕度范圍。

　　對(duì)溫濕度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

　　測(cè)試車間內(nèi)的溫濕度分布，確保分布均勻。

　　3、靜電防護(hù)系統(tǒng)調(diào)試

　　檢查靜電防護(hù)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，確保其正常工作。

　　測(cè)試車間內(nèi)的靜電場(chǎng)強(qiáng)度，確保控制在安全范圍內(nèi)。

　　測(cè)試靜電防護(hù)設(shè)備的接地電阻，確保符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

　　4、照明系統(tǒng)調(diào)試

　　檢查照明設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，確保各燈具正常工作，無損壞或故障。

　　測(cè)試車間內(nèi)的光照度，確保滿足生產(chǎn)需求，避免過強(qiáng)或過弱的光照對(duì)工作人員造成不適。

　　5、輔助系統(tǒng)調(diào)試

　　對(duì)給排水系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、通風(fēng)系統(tǒng)等輔助系統(tǒng)進(jìn)行逐一檢查和測(cè)試，確保其正常運(yùn)行并滿足生產(chǎn)需求。

　　6、整體運(yùn)行測(cè)試

　　模擬實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境，檢查無塵車間內(nèi)的各項(xiàng)指標(biāo)是否滿足生產(chǎn)需求。

　　對(duì)環(huán)境參數(shù)進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和記錄，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決問題。

　　7、人員培訓(xùn)

　　對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)和指導(dǎo)，確保他們能夠熟練掌握無塵車間的使用和維護(hù)方法。

　　通過以上安裝與調(diào)試方法，可以確保百級(jí)半導(dǎo)體凈化車間達(dá)到預(yù)定的潔凈度和生產(chǎn)要求，為半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)提供有力保障。