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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 百級芯片潔凈車間的換風系統(tǒng)怎么排風

百級芯片潔凈車間的換風系統(tǒng)怎么排風

2024-09-23
共有1886家企業(yè)看過

  百級芯片潔凈車間的換風系統(tǒng)排風設計是確保車間內(nèi)空氣質量、維持潔凈度等級的重要環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子凈化工程公司關于百級芯片潔凈車間換風系統(tǒng)排風設計的詳細說明:

  一、排風系統(tǒng)設計原則

  1、遵循規(guī)范:排風系統(tǒng)的設計需要嚴格遵循相關的國家標準和行業(yè)標準,如《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2013等。

  2、工藝需求:深入了解芯片生產(chǎn)工藝,熟悉產(chǎn)塵、產(chǎn)熱的特點,制訂出有效的捕塵、排氣(熱)方案,確保不影響生產(chǎn)工藝操作。

  3、節(jié)能環(huán)保:在保證潔凈度的同時,考慮系統(tǒng)的節(jié)能性和環(huán)保性,降低能耗和排放。

  二、排風方式

  百級芯片潔凈車間的排風方式主要分為局部排風和全面排風兩種:

  1、局部排風:

  定義:局部排風系統(tǒng)通過各種類型的排風罩、風管、凈化空氣設備、風機等組成,針對車間內(nèi)局部工藝設備產(chǎn)生的有害物進行捕集和處理。

  優(yōu)點:可以有效地控制有害物的擴散,保證工作區(qū)不被污染,投資較小,經(jīng)濟可靠。

  適用場景:適用于對車間內(nèi)局部工藝設備產(chǎn)生有害物的處理和排放。

  2、全面排風:

  定義:全面排風又稱稀釋通風,通過送入足夠量的經(jīng)過處理的清潔新鮮空氣來稀釋車間內(nèi)的有害物質濃度,并不斷將有害物質經(jīng)處理后排出室外。

  優(yōu)點:可以全面改善車間內(nèi)的空氣質量,適用于局部排風無法有效控制有害物質擴散的情況。

  適用場景:當采用局部通風系統(tǒng)無法滿足潔凈度要求時,采用全面通風作為補充或替代方案。


百級芯片潔凈車間


  三、排風系統(tǒng)設計要點

  1、排風口設置:

  排風口應設置在有害物濃度較高的區(qū)域,并避免對車間內(nèi)其他區(qū)域造成污染。

  排風口與送風口的距離應適當,以防止氣流短路,一般建議保持至少3米的距離。

  2、風管布置:

  風管布置應盡量減少局部阻力,如彎管、三通、變徑等數(shù)量應盡可能少。

  彎管的中心曲率半徑不應小于風管直徑或邊長的1.25倍。

  風管分支點前后應預留測壓孔,以便于系統(tǒng)調試和后續(xù)維護。

  3、排風設備:

  根據(jù)車間面積、換氣次數(shù)和有害物濃度等參數(shù),選擇合適的排風設備和凈化設備。

  排風設備應具有高效、低噪、易維護等特點,以確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。

  4、系統(tǒng)控制:

  采用自動化控制系統(tǒng)對排風系統(tǒng)進行監(jiān)控和調節(jié),以確保系統(tǒng)始終處于最佳運行狀態(tài)。

  可以通過設置風量調節(jié)閥、壓力傳感器等裝置,實現(xiàn)系統(tǒng)風量的精確控制和調節(jié)。

  四、注意事項

  1、防止交叉污染:在排風系統(tǒng)設計時,應防止不同介質之間的交叉污染,確保系統(tǒng)的安全性和可靠性。

  2、考慮環(huán)保要求:排風系統(tǒng)應滿足當?shù)丨h(huán)保部門的要求,對排放的有害物質進行處理和達標排放。

  3、系統(tǒng)維護:定期對排風系統(tǒng)進行清洗、檢查和維護,確保系統(tǒng)的高效運行和延長使用壽命。

  綜上所述,百級芯片潔凈車間的換風系統(tǒng)排風設計需要綜合考慮生產(chǎn)工藝需求、潔凈度要求、節(jié)能環(huán)保等因素,采用科學合理的排風方式和設計要點,確保車間內(nèi)空氣質量的穩(wěn)定和達標。

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