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首頁 新聞中心 行業資訊 芯片廠房無塵車間建設規范施工要點

芯片廠房無塵車間建設規范施工要點

2024-10-08
共有5055家企業看過

  芯片廠房無塵車間的建設規范與施工要點對于確保電子芯片制造的質量至關重要。以下是合潔科技電子潔凈工程公司對這些要點的詳細歸納:

  一、建設規范

  1、空氣潔凈度要求:無塵車間的空氣潔凈度需達到一定級別,如ISO 7級或更高級別,以減少塵埃和污染物對電子芯片的影響。垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%。

  2、溫濕度控制:車間內的溫度和濕度需保持恒定,以確保電子芯片制造過程中材料性能的穩定性和制造設備的正常運行。半導體(FAB)潔凈室中相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄范圍內。

  3、防靜電措施:由于電子芯片對靜電非常敏感,因此無塵車間應采取有效的防靜電措施,如鋪設防靜電地板、提供防靜電工作服等。

  4、安全與環保:無塵車間應符合國家和地方的安全與環保標準,確保生產過程中的安全與環保。

  二、施工要點

  1、現場勘察與方案設計:對車間進行實地勘察,了解車間布局、設備配置和潔凈度要求,制定詳細的施工方案。

  2、材料準備:

  地面材料:無塵車間的地面材料應具有防滑、防靜電、耐腐蝕等特性,可采用環氧樹脂地板或抗靜電瓷磚等材料。

  墻面材料:無塵車間的墻面材料應具有抗菌、易清潔等特性,可采用不銹鋼板或PVC板等材料。墻面與地面的交點處應做一個半徑為50mm的圓弧,以減少灰塵堆積,便于清掃。

  頂棚材料:無塵車間的頂棚材料應具有防火、防水、保溫等特性,可采用鋁合金板或石膏板等材料。


芯片廠無塵車間的圖片


  3、車間布局改造:按照設計方案,對車間進行布局改造,確保各區域功能明確,互不干擾。

  4、空氣凈化系統安裝:無塵車間應設置空氣凈化系統,包括空氣過濾器、風機、空調等設備,確??諝獾臐崈舳群蜐穸?。換氣次數不低于5次/小時。與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

  5、照明系統設置:無塵車間的照明系統應具有高亮度、低眩光等特性,可采用LED燈具或熒光燈具等。燈具的安裝位置應避免產生陰影和眩光,保證工作區域的照明均勻。

  6、設備安裝與調試:無塵車間應選擇先進的生產設備,包括半導體芯片制造設備、檢測設備等,并確保其正常運行。同時,應合理布置送風口和回風口的位置。

  7、清潔與驗收:對車間進行全面清潔,確保無塵、無雜物。組織相關人員進行驗收,確保各項指標達到要求。

  三、其他注意事項

  1、安全與環保措施:在施工過程中,應嚴格執行國家相關安全環保法規,確保施工過程安全、環保。使用環保材料,減少裝修過程中對環境的影響。設置專人負責安全管理,定期進行安全檢查和培訓。

  2、維護與保養:建立完善的維護與保養制度,定期對無塵車間的各項設施進行檢查、清潔和維護,確保其正常運行和使用效果。

  綜上所述,芯片廠房無塵車間的建設規范與施工要點涉及多個方面,需要綜合考慮工藝要求、環境控制、安全與環保等因素。通過科學合理的設計和施工,能夠建設出高效、安全、環保的電子芯片無塵車間,為企業的可持續發展提供有力保障。

EPC無塵凈化工程案例

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