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合景集團發布

首頁 新聞中心 行業標準 芯片凈化車間的設計和施工需要遵循哪些標準和規范

芯片凈化車間的設計和施工需要遵循哪些標準和規范

2024-12-02
共有4700家企業看過

  芯片凈化車間的設計和施工是一個復雜且精細的過程,它直接關系到芯片生產的質量和效率。為了確保車間達到高潔凈度、低污染、穩定可靠的生產環境要求,必須嚴格遵循一系列標準和規范。具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  首先,在設計之初,需明確芯片生產工藝流程及產品特性,根據這些信息確定車間所需達到的潔凈度等級。潔凈度等級的劃分通常遵循現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073,并可能參照ISO 7級或更高級別,這意味著車間內每立方米的微塵顆粒數量需控制在極低水平。例如,有的車間要求達到百級潔凈度,即車間內每立方米的空氣中塵埃粒子數不超過100顆粒徑大于0.1微米的粒子。根據這一要求,制定詳細的設計方案,包括布局規劃、材料選擇、設備配置等。

  在布局規劃方面,需綜合考慮生產工藝流程、設備布局和人員流動情況,合理規劃車間的各個功能區域,如原料區、生產區、測試區、成品區等。生產區可進一步細分為前道加工區、組裝區、測試區等,各區域間通過氣閘室或緩沖間連接,以減少交叉污染的風險。同時,設置合理的人流和物流通道,確保操作人員能夠高效、有序地完成工作。車間進出口應設置緩沖區,并配備風淋室等凈化設施,以進一步減少人員進出時帶入的灰塵和微生物。

  材料選擇方面,墻面、地面和天花板應采用不易積塵、易于清潔的材料,如不銹鋼板、鋁板、PVC地板、環氧自流平地坪等。這些材料不僅具有良好的抗腐蝕性和耐磨性,還能在清潔時快速去除表面污垢,保持車間的潔凈度。門窗應采用密封性好的材質,如彩鋼板單向彈簧門和鋁合金窗,并設置自動感應門以減少人員進出時的灰塵帶入。同時,車間內應選用無塵、易清潔的LED燈具,其布置應充分考慮工作面的照明需求,避免產生眩光和陰影。照明系統還應具有防靜電功能,以防止靜電對芯片生產造成干擾。




  設備配置方面,需設計一套高效、穩定的空氣凈化系統,包括初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器(HEPA)以及紫外線殺菌器等設備。送風口和回風口的位置應合理設置,以確保室內氣流均勻、穩定,避免死角和渦流的產生。同時,車間內需安裝獨立的空調系統和溫濕度調節器,將溫度控制在20°C\~25°C之間,濕度控制在45%\~65%RH之間,以滿足芯片生產工藝對溫濕度的嚴格要求。此外,還需設置防靜電地板、接地系統、防火系統等安全防護設施,以及相應的消防設施和緊急出口等應急設施。

  在施工過程中,需嚴格控制施工現場的潔凈度,避免灰塵、污垢等污染物進入車間。施工人員需穿戴專門的潔凈服、潔凈鞋,并采取其他必要的防塵措施。墻面和天花板的施工需嚴格按照設計方案進行,確保材料平整、無縫隙且易于清潔。地面材料需具備良好的耐磨、防滑、易清潔等特性,施工過程中需注意地面平整度和排水坡度,確保車間內無積水。同時,應綜合考慮風、水、多種氣體、多種電氣線路等多種管線系統的綜合排布,遵循“有壓管讓無壓管、水電管讓風管、小管讓大管”等原則,并盡量使用聯合支架以減少空間占用和沖突。

  安裝高效的空氣過濾器是保障無塵車間空氣質量的關鍵。根據潔凈度要求選擇合適的過濾器級別,并定期檢查和更換過濾器以保持其良好的過濾效果。對于面積較大的潔凈廠房,宜設置集中新風處理系統,新風處理系統送風機應采取變頻措施,以更好地控制車間的空氣質量和溫濕度。對于有空氣分子污染控制要求的區域,可采取在新風機組及該區域風機過濾器機組上加裝化學過濾器的措施。

  完成所有施工工作后,需對空氣凈化系統、溫濕度控制系統等進行調試,確保系統能夠正常運行并滿足生產需求。使用專業儀器對車間內的潔凈度、溫濕度等環境參數進行檢測,確保車間環境符合設計要求和相關標準。同時,對材料的選擇、設備的安裝、施工工藝等方面進行嚴格的監督和檢測,對存在質量問題的工程應及時進行整改。

  在驗收與交付階段,組織相關單位進行竣工驗收工作,對潔凈車間的整體裝修質量進行全面評估。為確保操作人員能夠正確使用和維護設備設施并處理常見問題,還需對操作人員進行系統的培訓和指導工作,提高他們的維護意識和操作技能。

  后期維護方面,應定期對潔凈車間的環境參數進行監測和評估工作,確保車間環境始終保持在良好狀態。根據監測結果及時調整維護計劃,以確保車間的長期穩定運行。同時,建立健全的管理體系,包括潔凈廠房的管理責任、工作指導和記錄管理等,以確保潔凈廠房的有效運行和管理。

  綜上所述,芯片凈化車間的設計和施工需要綜合考慮多個方面的因素和要求。通過科學合理的設計和精心的施工安裝,可以確保車間達到高潔凈度、低污染、穩定可靠的生產環境要求,從而提高產品質量和生產效率。同時,后期的維護與保養也是確保潔凈車間長期穩定運行的重要環節之一。未來,隨著科技的不斷進步和產業的發展,芯片凈化車間的建設標準和技術水平將不斷提高,為高科技產業的持續發展提供有力保障。

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