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合景集團發布

首頁 新聞中心 行業資訊 標準的十萬級芯片無塵車間的全面布局與設計指南

標準的十萬級芯片無塵車間的全面布局與設計指南

2025-01-13
共有4415家企業看過

  標準的十萬級芯片無塵車間,即每立方米空氣中直徑大于0.5微米的粒子數不超過十萬個的芯片生產環境,其全面布局與設計指南涵蓋多個關鍵方面,具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  一、需求分析與標準確定

  1、使用目的與產品特性:明確無塵車間的使用目的和所生產芯片的特性,以確定所需的潔凈度等級及其他相關標準。

  2、生產工藝與設備需求:根據生產工藝流程和設備需求進行合理布局,確保生產流程的順暢和高效。

  3、細化控制指標:除了潔凈度等級外,還需考慮溫濕度、靜電防護、微生物控制等具體指標。

  二、空間規劃與布局優化

  1、整體布局:

  合理規劃辦公區、生產區、物料區等,方便物流運輸和員工操作,同時滿足安全、環保和節能的要求。

  實驗區:用于芯片的測試與實驗,根據潔凈度等級(如ISO 5級、ISO 6級)進行劃分,并設置氣閘室或緩沖間,以實現不同潔凈等級區域的有效隔離。

  操作區:芯片封裝的主要區域,要求有充足的操作空間和高效的設備布局。設備應根據生產工藝流程進行合理安排,確保操作便捷且避免交叉污染。同時,要考慮未來設備的升級改造,保持布局的靈活性與合理性。

  通道設計:應設計單獨的人流通道和物流通道,避免交叉污染。人流通道需經過更衣室、風淋室等凈化設施,物流通道則需設置物料傳遞窗或傳遞小車。

  設備房:用于放置空氣凈化設備、電氣設備和自控系統等,位置應便于管道的布局和管理,同時要考慮噪音和振動的控制。

  2、場地選址:選擇遠離污染源、塵埃少、空氣清新的地理位置,以確保車間環境的干凈和穩定。

  3、建筑結構:采用封閉式建筑結構,如鋼結構或混凝土結構,確保車間內外環境隔離,減少外界污染物的進入。


十萬級芯片無塵車間


  三、材料選用與施工標準

  1、墻體材料:選用防靜電、易清潔的材料,如電鍍鋼板、不銹鋼板等。

  2、地面材料:選擇耐磨、耐腐蝕、易清潔的環氧地坪或PVC地板,以減少靜電產生并便于清潔維護。

  3、天花板材料:采用彩鋼板等輕質材料,便于施工和維護。同時,天花板應設置技術夾層,用于安裝空氣凈化設備和管道。

  4、門窗處理:采用密封性能高的無塵門窗,確保空氣密閉性。

  四、空氣凈化系統構建

  1、高效過濾系統:安裝初效、中效和高效(HEPA)過濾器,以有效去除空氣中的顆粒物和微生物。

  2、送風與排風系統:

  采用合適的送風方式,如頂部技術夾層送風或房間技術夾層送風,確保潔凈空氣均勻分布到整個潔凈區。

  合理規劃回風口位置,避免形成渦流或死角。

  通過正壓或負壓設計,防止外部污染物進入車間或潔凈空氣泄漏。

  五、環境監測與記錄

  1、監測設備:安裝在線粒子計數器、溫濕度傳感器等監測設備,實時監控車間內空氣潔凈度、溫濕度等參數。

  2、記錄與分析:詳細記錄監測數據,并進行定期分析,以確保車間環境穩定達標。

  六、質量管理體系建立

  1、參考標準:構建符合行業標準的質量管理體系,如參考ISO 14644-1(潔凈室及相關受控環境)等標準。

  2、職責分配:明確質量目標、職責分配、程序文件及作業指導書等,確保各項管理活動都有章可循。

  七、人員培訓與意識提升

  1、定期培訓:提升員工對無塵車間重要性的認識和操作技能,使其了解并遵循相關規范和標準。

  2、潔凈操作:建立科學合理的人員通行流程,對人員進行潔凈操作培訓,并定期進行潔凈度監測。

  八、安全與環保措施

  1、安全疏散:設置足夠的安全出口和疏散通道,確保人員在緊急情況下能夠迅速撤離。同時,要定期進行安全演練和培訓,提高員工的安全意識。

  2、環保節能:采用節能技術和材料,如太陽能熱水器、地源熱泵等,以降低能源消耗和環境污染。同時,在設計階段就充分考慮建筑本身的節能性能,比如使用高效隔熱材料保持室內恒溫,從而減少空調系統的負荷。

  九、后期維護與管理

  1、設備維護保養:定期對空氣凈化設備、電氣設備和自控系統等進行維護保養工作,確保其正常運行并延長使用壽命。同時建立設備檔案記錄設備的運行狀況和維護保養情況以便及時發現和解決問題。

  2、清潔與消毒:制定詳細的清潔與消毒計劃,定期對車間進行清潔和消毒處理。清潔時應使用專用工具和清潔劑,避免對車間造成污染。

  綜上所述,標準的十萬級芯片無塵車間的全面布局與設計需要從多個方面綜合考慮,確保車間環境始終處于最佳狀態,為芯片的生產提供堅實可靠的保障。

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