電子潔凈廠房的驗收檢測需綜合評估多項關鍵參數，這些參數直接影響潔凈室的潔凈度、環境控制能力及運行穩定性。以下是主要驗收檢測參數，具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　一、潔凈度相關參數

　　1、空氣潔凈度等級

　　按單位體積空氣中懸浮粒子數劃分(如ISO 14644-1標準)，需檢測不同粒徑(如0.1μm、0.3μm、0.5μm、5μm)的粒子濃度。

　　檢測方法包括粒子計數器實時監測、沉降菌法、浮游菌法等。

　　2、懸浮粒子濃度

　　需滿足設計要求的潔凈度等級，例如百級(ISO 5級)潔凈室要求0.5μm粒子數≤3520個/m3。

　　3、微生物濃度

　　檢測空氣中的浮游菌和沉降菌數量，需符合生產環境的微生物控制標準(如動態下浮游菌≤5cfu/m3)。

　　二、氣流與壓差參數

　　1、氣流流型與流速

　　檢測單向流(層流)或亂流的氣流組織是否符合設計要求，例如單向流風速需控制在0.3-0.5m/s。

　　使用風速儀、煙霧發生器等工具驗證氣流均勻性。

　　2、壓差控制

　　潔凈室與相鄰區域的壓差需≥5Pa(關鍵區域≥10Pa)，防止污染空氣侵入。

　　需檢測靜態和動態壓差，并驗證壓差控制系統的穩定性。

　　三、環境控制參數

　　1、溫濕度

　　溫度需控制在20-25℃(±1℃)，濕度控制在45%-65%(±5%)，需持續監測并記錄數據。

　　2、噪聲與照度

　　噪聲≤65dB(A)，照度需滿足生產工藝要求(如無塵車間≥300lux)。

　　3、微振與靜電

　　檢測地面振動值(如≤5μm/s)，防止對精密設備造成影響。

　　需測試靜電電位(如≤±100V)，避免靜電吸附粒子。

　　四、建筑與設施參數

　　1、圍護結構密封性

　　檢測墻面、地面、頂棚的密封性，防止外部污染滲透。

　　2、高效過濾器(HEPA/ULPA)性能

　　需檢測過濾器的泄漏率(如≤0.01%)，確保過濾效率符合設計要求。

　　3、送風量與換氣次數

　　送風量需滿足潔凈室換氣次數要求(如百級潔凈室≥200次/h)。

　　五、生產相關參數

　　1、設備排放與粒子釋放

　　檢測生產設備的粒子排放量，確保符合潔凈室控制標準。

　　2、人員與物料進出控制

　　驗證人員更衣、物料傳遞的潔凈流程，防止交叉污染。

　　六、驗證與文件記錄

　　1、潔凈室自凈時間

　　檢測潔凈室從污染狀態恢復到潔凈狀態所需的時間，需符合設計要求。

　　2、文件與記錄

　　需提供完整的檢測報告、設備維護記錄、環境監測數據等文件。

　　驗收檢測標準依據

　　國際標準：ISO 14644-1(潔凈室及受控環境分類)。

　　國家標準：GB 50073-2013《潔凈廠房設計規范》、GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規范》。

　　行業標準：根據具體行業(如半導體、制藥)的特殊要求執行。

　　七、注意事項

　　驗收檢測需由具備資質的第三方機構執行，確保數據客觀性。

　　檢測前需對潔凈室進行全面清潔，并關閉所有送排風系統以外的設備。

　　檢測結果需與設計文件逐項比對，任何不符合項均需整改后復測。

　　通過以上參數的綜合檢測，可確保電子潔凈廠房滿足生產工藝對潔凈度、環境控制及運行穩定性的要求。