一、項目背景與目標

　　液晶屏生產對潔凈度、溫濕度、靜電防護等環境參數要求極高，需嚴格遵循ISO 14644-1 Class 1000級(或萬級)潔凈標準。本工程旨在通過科學設計與施工，打造符合液晶屏制造工藝需求的高標準凈化車間，確保產品良率與生產效率。

　　二、核心設計參數與標準

　　潔凈度等級：

　　核心生產區：ISO 14644-1 Class 1000級(空氣中≥0.5μm粒子數≤1000個/m3)。

　　輔助區域：Class 10000級或Class 100000級，根據工藝需求分級控制。

　　溫濕度控制：

　　溫度：22±2℃(夏季)、20±2℃(冬季)。

　　濕度：45%~55% RH(防靜電與防潮平衡)。

　　壓差梯度：

　　核心區→輔助區→外界：壓差梯度≥10Pa，防止污染侵入。

　　靜電防護：

　　地面電阻：10?~10?Ω(防靜電環氧自流平)。

　　設備與人員接地：≤10?Ω，避免靜電擊穿敏感元件。

　　三、關鍵施工內容與技術措施

　　圍護結構：

　　墻體與頂板：50mm厚機制巖棉彩鋼板，圓弧角鋁型材收邊，氣密性≤0.5m3/(h·m2)。

　　地面：3mm防靜電環氧自流平，基層平整度≤2mm/2m，表面電阻10?~10?Ω。

　　門窗：雙層中空鋼化玻璃氣密門，配套電子互鎖裝置;傳遞窗采用機械連鎖，紫外線殺菌。

　　空氣凈化系統：

　　FFU高效過濾：核心區全覆蓋，HEPA過濾器效率≥99.999%(0.3μm粒子)。

　　空調機組：組合式空氣處理機組，配備三級過濾(初效+中效+高效)，溫濕度控制精度±1℃、±5% RH。

　　氣流組織：上送下回，頂棚滿布FFU，地面回風夾道，風速0.3~0.5m/s，避免渦流。

　　防靜電與防微振系統：

　　防靜電地板：導電環氧地坪+銅箔網格接地，接地電阻≤4Ω。

　　設備防微振：光刻機等精密設備區域設置獨立防微振基座，振動值≤0.5μm/s。

　　純水與特氣系統：

　　純水：EDI+拋光混床工藝，電阻率≥18MΩ·cm(25℃)，供點壓力0.2~0.4MPa。

　　特氣：N?、Ar、SiH?等氣體采用雙管路供應，壓力≤0.8MPa，配備泄漏報警與自動切斷裝置。

　　四、施工流程與質量控制

　　施工階段劃分：

　　基礎施工：地面找平、防潮層施工、預埋管線(風管、水管、電線管)。

　　圍護結構安裝：彩鋼板隔斷、吊頂、門窗安裝，接縫處打密封膠。

　　機電安裝：空調機組、FFU、純水機、特氣柜等設備就位與調試。

　　裝飾裝修：環氧地坪施工、防靜電接地安裝、照明與插座布線。

　　系統聯調：潔凈度檢測、溫濕度驗證、壓差梯度校準。

　　質量控制要點：

　　潔凈度檢測：采用激光粒子計數器，動態測試≥1小時，靜態測試≥24小時。

　　風速與換氣次數：核心區風速0.3~0.5m/s，換氣次數≥30次/h。

　　密封性測試：彩鋼板接縫、門窗縫隙處用煙霧測試儀檢測泄漏。

　　五、成本預算與工期安排

　　成本預算：

　　圍護結構：約150萬元(彩鋼板、門窗、地面)。

　　空氣凈化系統：約200萬元(FFU、空調機組、風管)。

　　防靜電與特氣系統：約100萬元(環氧地坪、特氣柜、純水機)。

　　機電安裝與調試：約80萬元(電氣、給排水、消防)。

　　其他費用：設計費、管理費、稅費等約50萬元。

　　總預算：約580萬元(具體需根據設備選型與地域差異調整)。

　　工期安排：

　　總工期：120日歷天(含設計、施工、調試)。

　　關鍵節點：

　　第30天：完成圍護結構安裝。

　　第60天：完成機電設備安裝。

　　第90天：完成系統聯調與初驗。

　　第120天：通過第三方檢測并交付。

　　六、風險管理與應急預案

　　風險識別：

　　潔凈度不達標：FFU效率不足、密封性缺陷。

　　溫濕度失控：空調機組故障、純水系統泄漏。

　　靜電事故：防靜電措施失效、人員操作不當。

　　應急預案：

　　潔凈度異常：立即停產，排查FFU與過濾器，啟動備用機組。

　　溫濕度超限：切換至手動模式，調整空調參數，啟用除濕機或加濕器。

　　靜電事故：啟動ESD報警系統，疏散人員，檢查接地與防靜電設施。

　　本方案通過精細化設計、高標準施工與嚴格的質量控制，確保3000平方米液晶屏凈化車間滿足生產工藝需求。實施過程中需重點關注圍護結構氣密性、空氣凈化系統效率與防靜電措施的有效性，同時建立完善的應急預案，保障生產安全與產品品質。