百級芯片凈化車間的FFU(風機過濾單元)施工需嚴格遵循潔凈室相關標準及行業規范，確保車間空氣潔凈度、氣流組織和設備運行穩定性。以下是FFU施工的主要標準和技術要求，具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

　　一、施工環境與準備標準

　　1、施工前環境要求

　　車間主體結構、墻面、地面及吊頂需完成防塵處理，地面平整且干燥，避免灰塵污染。

　　施工區域應設置臨時圍擋，與其他區域隔離，采用負壓防塵措施(如臨時風機過濾裝置)，防止交叉污染。

　　施工人員需穿戴潔凈服、口罩、鞋套，進入前通過風淋室或除塵通道。

　　2、設備與材料檢驗

　　FFU設備進場時需檢查外觀無損傷，銘牌參數(風量、風壓、功率、過濾效率等)符合設計要求，附帶出廠檢測報告和合格證書。

　　高效過濾器(HEPA/ULPA)需確認過濾效率(百級車間通常采用 HEPA，過濾效率≥99.97%@0.3μm)，且包裝完好未拆封，避免現場拆箱污染。

　　配套材料(如密封膠、吊掛件、電源線等)需符合潔凈室材質要求(耐腐蝕、不產塵)，密封膠需通過揮發性有機物(VOC)檢測。

　　二、安裝工藝標準

　　1、吊頂結構與布局

　　吊頂承重：FFU通常通過吊架固定在吊頂龍骨上，吊頂需滿足承重要求(單個FFU重量約 50-100kg，需計算龍骨間距和強度)，吊架材質宜為不銹鋼或經過防腐處理的金屬，避免生銹產塵。

　　布局規劃：FFU排列需嚴格按設計圖紙，確保送風均勻性。常見布局方式為密排滿布或分區布置，間距誤差≤2mm，整體平整度誤差≤3mm/m，避免氣流短路。

　　2、FFU 安裝步驟

　　預組裝：在潔凈區外完成FFU與高效過濾器的預裝(如需現場安裝過濾器，需在安裝前對FFU內部進行清潔)，確保過濾器與FFU框架密封良好(可通過光照法檢查漏光)。

　　吊裝固定：

　　使用專用吊具將FFU平穩吊裝至吊頂下方，調整水平度(水平偏差≤1mm/m)，通過螺栓或卡扣與龍骨固定，確保無晃動。

　　多臺FFU并列安裝時，相鄰設備邊緣對齊，接縫間隙≤2mm，采用密封膠填充縫隙，防止漏風。

　　過濾器安裝：

　　在潔凈環境下拆除過濾器包裝，輕拿輕放，避免碰撞。

　　將過濾器垂直放入FFU靜壓箱內，確保與密封膠條緊密貼合，采用壓緊裝置固定(如彈簧卡扣或螺栓)，安裝后需進行泄漏檢測(如掃描法檢漏，泄漏率≤0.01%)。

　　3、氣流與壓力調試

　　風速測試：使用風速儀在高效過濾器下方 15-30cm 處檢測，百級車間平均風速需控制在 0.36-0.54m/s(國際標準 ISO 14644-1 中 Class 5 級要求)，單點風速與平均值偏差≤±20%。

　　氣流流型：采用煙霧發生器或激光粒子計數器觀察氣流流向，確保單向流(垂直或水平)均勻穩定，無渦流或逆流，避免污染物滯留。

　　壓差控制：車間與相鄰區域壓差需符合設計要求(通常為 5-10Pa 正壓)，通過調整FFU風量或回風閥實現。

　　三、電氣與控制系統標準

　　1、電源與布線

　　FFU電源需獨立回路，采用阻燃電纜，布線需在吊頂內橋架或套管中隱蔽敷設，避免外露積塵。

　　設備接地需符合電氣規范(接地電阻≤4Ω)，防止靜電積聚。

　　2、控制系統

　　支持變頻調速(通過PLC或DDC控制器)，可根據實時監測的粒子濃度自動調節風量，節能運行。

　　配備運行狀態指示燈(如電源、故障、風速異常)，并接入車間監控系統(BMS)，實現遠程監控和故障報警。

　　四、清潔與檢測標準

　　1、安裝后清潔

　　安裝過程中產生的碎屑、油污需及時用不產塵的清潔工具(如防靜電抹布、真空吸塵器)清理，避免殘留。

　　對FFU表面和吊頂縫隙進行徹底擦拭，必要時采用去離子水或專用清潔劑消毒。

　　2、性能檢測

　　塵埃粒子檢測：按照ISO 14644-1 或 GB/T 25915.3標準，使用激光粒子計數器檢測車間內0.5μm和5μm粒子濃度，百級車間靜態(空態)下每立方米 0.5μm 粒子數≤3520 個，動態(運行中)需符合工藝要求。

　　過濾器泄漏檢測：采用PAO(鄰苯二甲酸二辛酯)氣溶膠掃描法，對高效過濾器邊框、接縫處進行掃描，泄漏率需≤0.01%，超標時需補膠或更換過濾器。

　　噪聲檢測：FFU正常運行時，車間內噪聲≤65dB(A)，符合GB 50073《潔凈廠房設計規范》要求。

　　五、行業相關標準與規范

　　國際標準：

　　ISO 14644-1:2015《潔凈室及相關受控環境第 1 部分：空氣潔凈度等級的分類》

　　ISO 14644-4:2001《潔凈室及相關受控環境第 4 部分：設計、建造和啟動》

　　國家標準：

　　GB 50073-2013《潔凈廠房設計規范》

　　GB 50591-2010《潔凈室施工及質量驗收規范》

　　GB/T 16292-16294《醫藥工業潔凈室(區)懸浮粒子的測試方法》

　　半導體行業規范：

　　SEMI S2/S8-0203《半導體制造設備的安全準則》

　　GJB 7244-2011《半導體集成電路潔凈廠房設計規范》

　　六、施工注意事項

　　1、避免在FFU上方進行焊接、切割等產塵作業，如需交叉施工，需對已安裝設備進行全覆蓋保護。

　　2、調試階段需逐步啟動FFU，避免同時啟動導致電流沖擊，影響供電系統穩定性。

　　3、施工記錄需完整(如設備型號、安裝位置、檢測數據等)，作為竣工驗收和日后維護的依據。

　　通過嚴格遵循上述標準，可確保百級芯片凈化車間FFU系統的高效運行，滿足半導體芯片制造對高潔凈度、低振動和穩定氣流的嚴苛要求。