電子光學產品生產技術推動了電子光學潔凈廠房的發(fā)展，兩者相互促進，電子光學潔凈廠房的建造滿足了電子產品生產工藝環(huán)境要求。那么，要如何建造電子光學潔凈廠房呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　電子光學潔凈廠房的設計建造和使用應做到不引入或少引入微粒，不產生或少產生微粒，不滯留或少滯留微粒。此外。電子光學潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產品生產要求進行控制。而根據(jù)產品要求需對潔凈室內的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進行控制。

　　電子光學潔凈廠房的設計和建造就是要在做好相關專業(yè)設計的基礎上，做好各項設施消防、防火、防爆、報警，確保潔凈室的運行。與此同時，他還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應，節(jié)約能源：安排好各類配管配線，確保各種流體介質的輸送力量，減少材料消耗，方便施工安裝和運行維護。

　　一、前期規(guī)劃與準備

　　1、需求分析：明確廠房規(guī)模、產能、工藝要求，確定潔凈度等級(萬級)、溫濕度范圍(通常溫度24±2℃，相對濕度55±5%)、換氣次數(shù)(≥20次/小時)等核心參數(shù)。

　　2、選址與布局：選擇地質穩(wěn)定、環(huán)境清潔的區(qū)域，合理劃分生產區(qū)、輔助區(qū)、辦公區(qū)、倉儲區(qū)及凈化空調系統(tǒng)區(qū)域，確保物流與人流分離，減少交叉污染。

　　3、資金與資源籌備：根據(jù)預算編制詳細成本計劃，提前采購進口設備(如高效過濾器、防靜電地板)及特殊材料(如PVC地板、巖棉板)，避免工期延誤。

　　二、結構設計優(yōu)化

　　1、建筑形式：采用單層輕鋼結構或鋼筋混凝土框架，大跨度設計(如15m、30m)形成大空間，便于工藝布局調整。

　　2、圍護結構：

　　墻體：雙層玻璃幕墻或巖棉夾芯彩鋼板，內外層間填充巖棉保溫，接縫處用密封膠封堵。

　　屋面：輕鋼結構屋面，加設保溫層與防水層，坡度≥5%防止積水。

　　門窗：減少門窗數(shù)量，采用氣密性良好的雙層中空玻璃門和固定窗，門框嵌入密封條。

　　3、技術夾層：在吊頂上方設置技術夾層，用于敷設管道、電纜及安裝空調設備，減少對生產區(qū)的干擾。

　　三、通風空調系統(tǒng)設計

　　1、空氣凈化流程：新風→初效過濾器→中效過濾器→空調機組→高效過濾器(HEPA)→送風管道→潔凈區(qū)→回風百葉窗→初效過濾器，形成閉環(huán)凈化。

　　2、氣流組織：

　　萬級區(qū)域：采用頂送側回亂流形式，高效過濾器布置在頂棚，回風口設在墻面下方。

　　局部百級：在關鍵工序(如光刻)設置垂直層流工作臺，氣流方向與重力一致，減少顆粒沉積。

　　3、設備選型：

　　空調機組：模塊化設計，支持變頻調節(jié)，根據(jù)負荷動態(tài)調整送風量。

　　風機：選用低噪音、高效能離心風機，風壓滿足管道阻力要求。

　　過濾器：初效過濾效率≥80%，中效≥90%，高效(HEPA)≥99.97%。

　　四、防靜電與防震動控制

　　1、防靜電設計：

　　地面：鋪設防靜電環(huán)氧自流平或PVC地板，電阻值1×10?~1×10?Ω。

　　墻面與頂面：采用防靜電涂層或導電型彩鋼板，接地電阻≤1Ω。

　　設備與工具：使用防靜電工作臺、離子風機及導電輪推車，人員穿戴防靜電服、鞋和腕帶。

　　2、防震動控制：

　　設備基礎：精密儀器(如光刻機)采用獨立混凝土基礎，與廠房結構脫開。

　　管道支架：加裝橡膠減震墊，避免空調機組、風機等振動傳遞至潔凈區(qū)。

　　五、給排水與電氣系統(tǒng)設計

　　1、給排水系統(tǒng)：

　　給水：采用不銹鋼管道，支管設置倒流防止器，水質符合《電子級水》標準。

　　排水：暗敷排水管道，坡度≥1%，地漏采用潔凈型，水封高度≥50mm。

　　純水系統(tǒng)：設置預處理、反滲透、EDI模塊，產水電阻率≥18MΩ·cm，管道采用衛(wèi)生級不銹鋼或Clean-PVC。

　　2、電氣系統(tǒng)：

　　供電：雙回路供電，關鍵設備(如空調機組)配置UPS不間斷電源。

　　照明：采用LED潔凈燈，照度≥300lx，無頻閃、無紫外線。

　　消防：設置極早期煙霧探測器，采用七氟丙烷氣體滅火系統(tǒng)，避免水漬損失。

　　六、施工安裝與質量控制

　　1、施工流程：

　　基礎施工：優(yōu)先完成設備基礎及地下管道敷設，避免后期開挖破壞潔凈區(qū)。

　　主體結構：同步進行鋼結構安裝與圍護結構封閉，縮短工期。

　　裝飾裝修：先安裝防靜電地板，再施工墻面與頂面，最后安裝門窗及過濾器。

　　2、關鍵工序控制：

　　管道焊接：不銹鋼管道采用氬弧焊，層間溫度≤60℃，焊縫內表面呈銀白色。

　　過濾器安裝：高效過濾器安裝前進行檢漏測試，漏風率≤0.1%。

　　地面施工：環(huán)氧自流平分兩遍涂刷，每遍厚度≤1mm，24小時內禁止通行。

　　3、質量驗收：

　　潔凈度測試：采用粒子計數(shù)器檢測≥0.5μm顆粒數(shù)，萬級標準≤3,520,000個/m3。

　　風速與壓差：送風風速0.45±0.05m/s，相鄰潔凈區(qū)壓差≥5Pa。

　　通過以上措施，可顯著提升建造效率，確保電子光學潔凈廠房快速投產后穩(wěn)定達標。建議選擇有電子行業(yè)經驗的EPC總包商，減少接口風險。